基于二维多物理场的激光毁伤过程仿真

汤欣卓; 张昊春; 周子杨; 罗曦

基于二维多物理场的激光毁伤过程仿真

哈尔滨工业大学能源科学与工程学院，黑龙江哈尔滨，150001

基金项目: 基金

详细信息

作者简介:
汤欣卓（出生年—），性别，学历，职称，主要从事……方面的研究。E-mail：xx@xx.com

中图分类号: TN249;TK124
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出版历程
- 收稿日期: 2023-09-28
- 修回日期: 2023-10-23
- 网络出版日期: 2023-11-03

Two-dimensional multiphysics field simulation of laser damage based on COMSOL

School of Energy Science and Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin, 150001, China

摘要

摘要: 激光毁伤过程的分析研究可以辅助研究激光防护材料，同时也为激光加工提供建议，因此针对高反射率金属涂覆的材料激光烧蚀过程，建立了基于COMSOL的二维多物理场模型。利用表面热源简化激光作用于物质的问题，建立毁伤过程的位移场、温度场、应力场，并采用向后差分的方法进行求解，获得激光辐照下材料的烧蚀形状与温度场、应力场分布特征。对比有无涂层防护情况下的仿真结果，高反射率涂层防护能够使材料在同时间内激光烧蚀深度减少约95%，径向温度及应力变化范围缩小约33%，验证了高反射率金属涂层的防护效果；对比不同时刻的仿真结果，随时间增长材料烧蚀深度、温度应力变化范围呈均匀增长。为激光毁伤过程的研究以及激光防护材料开发提供了参考。
- COMSOL仿真建模 /
- 激光毁伤 /
- 激光涂层防护
Abstract: The analytical study of the laser destruction process can assist in the study of laser protection materials and also provide suggestions for laser processing, therefore, in this paper, a two-dimensional multi-physics field model based on COMSOL has been developed for the laser ablation process of materials coated with high-reflectivity metals. Simplifying the problem of laser action on matter by using surface heat sources. The displacement field, temperature field and stress field of the destructive process are established and solved by the method of backward difference to obtain the ablation shape of the material under laser irradiation and the distribution characteristics of the temperature field and stress field. Comparing the simulation results with and without coating protection, the high reflectivity coating protection can reduce the laser ablation depth of the material by about 95% and the radial temperature and stress variation range by about 33% in the same time, which verifies the protective effect of the high reflectivity metal coating. Comparing the simulation results at different moments, the ablation depth and the temperature and stress variation range of the material increased uniformly with time. It provides a reference for the study of the laser destruction process and the development of laser protective materials.
- simulation modeling with COMSOL /
- laser damage /
- laser coating protection

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图 1 激光烧蚀过程示意图

Fig. 1 Schematic diagram of the laser ablation process

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图 2 金属类高反射率防护材料涂覆的铝靶温度场

Fig. 2 Temperature field of aluminum targets coated with protective materials

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图 3 无防护材料涂覆的铝靶温度场

Fig. 3 Temperature field of aluminum target without protective material coating

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图 4 有无防护材料涂覆的铝靶等温线分布

Fig. 4 Isothermal distribution of aluminum target without protective material coating

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图 5 金属类高反射率防护材料涂覆的铝靶应力场

Fig. 5 Stress field of aluminum targets coated with protective materials

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图 6 无防护材料涂覆的铝靶应力场

Fig. 6 Stress field of aluminum target without protective material coating

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表 1 网格单元大小参数

Table 1 Grid cell size parameter

划分方式	最大单元大小/μm	最小单元大小/μm	最大单元增长率	曲率因子	狭窄区域分辨率
极细化	20	0.24	1.1	0.2	1
常规	804	3.60	1.3	0.3	1

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表 2 Al材料参数

Table 2 Material parameters of Al

密度/ (kg·m⁻³)	热导率/ (W·m⁻¹·K⁻¹)	比热/ (J·kg⁻¹·K⁻¹)	熔点/K	沸点/K	熔化潜热/ (kJ·kg⁻¹)	气化潜热/ (kJ·kg⁻¹)	反射率 (10.6 μm、Ra0.56)^[17]	反射率 (10.6 μm、Ra9.30)^[17]
2 710	228	902	933	2 792	395	10 770	0.981	0.624

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